클린룸과 장비
반도체 공장의 자동 반송 시스템에서 다음 공정으로 넘어가기 전의 FOUP을 일시적으로 보관하는 자동 창고는 무엇인가?
- A스토커
- BEFEM
- C에어 샤워
정답과 해설 보기
정답: A. 스토커
스토커는 로봇이 FOUP을 넣고 빼는 선반을 갖춘 자동 창고로, 장비가 비기를 기다리는 FOUP 등을 일시적으로 보관합니다. 내부는 청정 공기나 질소로 채워져 있고 OHT 등의 반송 시스템과 연결되어 있으며, 생산 관리 시스템의 지시로 필요한 FOUP을 출고합니다. 최근에는 천장 공간을 활용하여 레일 옆에 FOUP을 두는 소형 보관 선반도 사용됩니다.
- A. 맞습니다. FOUP을 일시 보관하는 자동 창고입니다.
- B. EFEM은 장비 전면에서 웨이퍼를 전달하는 모듈입니다.
- C. 에어 샤워는 입실 시 의복의 먼지를 떨어내는 설비입니다.