클린룸과 장비

칸막이가 적은 큰 방 안에 제조 장비를 늘어놓고, FOUP 등의 밀폐 용기와 미니인바이런먼트로 웨이퍼의 청정도를 확보하는 클린룸 방식은 무엇인가?

  1. A베이-체이스 방식
  2. B터널 방식
  3. C볼룸(대형 방) 방식
정답과 해설 보기

정답: C. 볼룸(대형 방) 방식

볼룸 방식은 벽으로 잘게 나누지 않고 큰 공간에 장비를 늘어놓는 방식입니다. 웨이퍼는 밀폐 용기와 장비의 미니인바이런먼트로 보호되므로 방 전체의 청정도를 그다지 높이지 않아도 되고, 장비 재배치도 쉬워집니다. OHT 레일도 자유롭게 설치할 수 있어 300 mm 공장에서 널리 채택되고 있습니다. 베이-체이스 방식은 벽으로 작업 구역과 보수 구역을 나눕니다.

  • A. 베이-체이스 방식은 작업 구역과 보수 구역을 벽으로 나누는 방식입니다.
  • B. 터널 방식은 청정한 터널 모양 구역에 장비를 늘어놓는 오래된 방식입니다.
  • C. 맞습니다. 큰 공간에 장비를 늘어놓는 방식입니다.
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