分子状汚染(AMC)란?

ぶんしじょうおせん

空気中の酸、アルカリ、有機物などのガス状の汚染物質。粒子用のフィルタでは除けず、ケミカルフィルタで取り除く。

일본어 명칭: 分子状汚染(AMC)

分子状汚染(AMC)은(는) 클린룸과 장비 등 1개 분야의 연습 문제 2개에 나와요.

분야: 클린룸과 장비

도전해 보기: 分子状汚染(AMC) 관련 문제

클린룸 공기에서 암모니아나 유기물 등의 분자 오염(AMC)을 제거하는 데 사용되는 필터는 무엇인가?

  1. AULPA 필터
  2. B케미컬 필터(활성탄이나 이온 교환체를 사용한 필터)
  3. C금속 메시 프리 필터
정답과 해설 보기

정답: B. 케미컬 필터(활성탄이나 이온 교환체를 사용한 필터)

ULPA나 HEPA 필터는 입자를 포집하지만 가스 상태의 분자는 빠져나갑니다. 케미컬 필터는 활성탄이나 산·알칼리와 반응하는 약제를 첨착한 여과재, 이온 교환 수지 등을 사용하여 분자를 흡착·반응시켜 제거합니다. 제거할 물질에 맞춰 종류를 선택하며, 흡착량에 한계가 있으므로 정기적으로 교체합니다. 외기 도입구나 노광 장비 등 중요한 장비에 사용됩니다.

해설 속 分子状汚染(AMC)

分子状汚染(AMC)이(가) 나오는 문제 (2)

  1. 클린룸 공기에서 암모니아나 유기물 등의 분자 오염(AMC)을 제거하는 데 사용되는 필터는 무엇인가?
  2. 클린룸에서 입자가 아닌 가스 상태의 오염 물질(산, 알칼리, 유기물 등)을 가리키는 용어는 무엇인가?

관련 용어

ESD(静電気放電) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) FOUP HEPAフィルタ ISO 14644-1 OHT(天井走行式無人搬送車) ULPAフィルタ ダウンフロー ミニエンバイロメント

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