ULPAフィルタ란?
うるぱふぃるた
HEPAフィルタよりさらに微細な粒子まで捕集する高性能のエアフィルタ。高い清浄度のクリーンルームの天井に使われる。
일본어 명칭: ULPAフィルタ
분야: 클린룸과 장비
관련 용어
分子状汚染(AMC) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) FOUP HEPAフィルタ ISO 14644-1 OHT(天井走行式無人搬送車) ダウンフロー ミニエンバイロメント
うるぱふぃるた
HEPAフィルタよりさらに微細な粒子まで捕集する高性能のエアフィルタ。高い清浄度のクリーンルームの天井に使われる。
일본어 명칭: ULPAフィルタ
분야: 클린룸과 장비
分子状汚染(AMC) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) FOUP HEPAフィルタ ISO 14644-1 OHT(天井走行式無人搬送車) ダウンフロー ミニエンバイロメント