클린룸과 장비

300 mm 웨이퍼 공장에서 FOUP을 천장 레일을 따라 장비 사이로 자동 반송하는 시스템은 무엇인가?

  1. A사람이 하는 대차 반송
  2. B벨트 컨베이어만을 이용한 반송
  3. COHT(천장 주행식 무인 반송차)
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정답: C. OHT(천장 주행식 무인 반송차)

300 mm 웨이퍼 25장을 담은 FOUP은 약 8 kg으로 무거워 사람이 운반하면 부담이 크고, 발진이나 낙하 위험도 있습니다. OHT는 천장 레일을 달리는 반송차로, FOUP을 매달아 장비의 로드 포트까지 자동으로 운반하며 바닥 공간을 작업이나 장비에 활용할 수 있습니다. 공장 전체의 자동 반송 시스템(AMHS)의 중심 설비로, 큰 공장에서는 수백 대 이상이 달리고 있습니다.

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