ダウンフロー란?
だうんふろー
天井全面から床へ一方向に清浄な空気を流す、クリーンルームの気流の方式。発生した粒子をすばやく床下へ排出する。
일본어 명칭: ダウンフロー
분야: 클린룸과 장비
だうんふろー
天井全面から床へ一方向に清浄な空気を流す、クリーンルームの気流の方式。発生した粒子をすばやく床下へ排出する。
일본어 명칭: ダウンフロー
분야: 클린룸과 장비
分子状汚染(AMC) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) FOUP HEPAフィルタ ISO 14644-1 OHT(天井走行式無人搬送車) ULPAフィルタ ミニエンバイロメント