ダウンフロー란?

だうんふろー

天井全面から床へ一方向に清浄な空気を流す、クリーンルームの気流の方式。発生した粒子をすばやく床下へ排出する。

일본어 명칭: ダウンフロー

분야: 클린룸과 장비

관련 용어

分子状汚染(AMC) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) FOUP HEPAフィルタ ISO 14644-1 OHT(天井走行式無人搬送車) ULPAフィルタ ミニエンバイロメント

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