클린룸과 장비

순간 전압 강하(순저)나 정전으로 인한 제조 중 웨이퍼의 손실을 막기 위해 반도체 공장에서 도입하는 설비는 무엇인가?

  1. AULPA 필터
  2. B무정전 전원 장치(UPS)나 순저 대책 장치
  3. CFOUP
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정답: B. 무정전 전원 장치(UPS)나 순저 대책 장치

반도체 제조 장비는 0.1초 정도의 전압 강하에도 정지할 수 있어, 처리 중인 웨이퍼가 불량이 되거나 진공과 온도를 되돌려 다시 가동하기까지 오랜 시간이 걸리기도 합니다. 낙뢰 등에 의한 순저는 드물지 않으므로 중요한 장비와 설비에는 무정전 전원 장치나 순저 대책 장치를 설치하여 전력 공급이 끊기지 않도록 하고 있습니다. 필터나 FOUP은 전원 대책이 아닙니다.

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