노광 장비 등 정밀 장비에서 바닥으로부터 전달되는 진동의 영향을 억제하기 위해 사용하는 것은 무엇인가?

정답: A. 제진대(액티브 제진 장치 등)

노광 장비나 전자현미경 등 정밀 장비는 미세한 진동만으로도 정밀도가 떨어집니다. 그래서 스프링이나 공기 스프링, 센서로 진동을 감지해 반대 방향의 힘을 가하여 상쇄하는 액티브 제진 장치 등의 제진대 위에 설치합니다. 공장 건물도 두꺼운 바닥과 굵은 기둥으로 진동이 적은 구조로 설계하며, 펌프 등의 진동원은 별도의 바닥에 둡니다. 가습기나 FOUP은 진동 대책 설비가 아닙니다.