웨이퍼 주위의 좁은 공간만 높은 청정도로 유지하는 개념을 무엇이라고 부르는가?

정답: B. 미니인바이런먼트 방식

미니인바이런먼트 방식에서는 FOUP이나 장비 내부 등 웨이퍼가 접하는 공간만 극히 청정하게 유지하고, 사람이 작업하는 공간의 청정도는 다소 완화합니다. 청정하게 유지해야 할 공간의 부피가 크게 줄어들기 때문에, 방 전체를 초청정으로 만드는 볼룸 방식에 비해 건설비와 공조 운전비를 절감할 수 있습니다. 사람과 웨이퍼를 격리할 수 있어 사람으로 인한 오염도 줄일 수 있습니다.