ISO 14644-1란?

あいえすおー14644-1

クリーンルームの清浄度のクラスを、空気中の粒子の数で定めた国際規格。数字が小さいほど清浄度が高い。

일본어 명칭: ISO 14644-1

ISO 14644-1은(는) 클린룸과 장비 등 1개 분야의 연습 문제 3개에 나와요.

분야: 클린룸과 장비

도전해 보기: ISO 14644-1 관련 문제

구 미국 연방 규격의 클래스 100(1세제곱피트당 0.5 µm 이상의 입자가 100개 이하)에 해당하는 ISO 14644-1의 청정도 클래스는 무엇인가?

  1. AISO 클래스 5
  2. BISO 클래스 1
  3. CISO 클래스 9
정답과 해설 보기

정답: A. ISO 클래스 5

구 미국 연방 규격의 클래스 100은 1세제곱피트(약 28.3 L)당 0.5 µm 이상의 입자가 100개 이하이며, 1 m³로 환산하면 약 3500개입니다. ISO 14644-1의 클래스 5에서 0.5 µm 이상의 상한은 3520개/m³이므로 거의 해당합니다. ISO 클래스는 숫자가 1 작아질 때마다 허용 입자 수가 1/10이 되므로, 클래스 1은 매우 엄격하고 클래스 9는 일반 실내 정도입니다.

ISO 14644-1의 청정도 클래스에 대한 올바른 설명은 무엇인가?

  1. A숫자가 클수록 청정도가 높다
  2. B입자의 수가 아니라 입자의 무게로 정해진다
  3. C클래스 숫자 N이 1 작아질 때마다 허용되는 입자 수가 대략 10분의 1이 된다
정답과 해설 보기

정답: C. 클래스 숫자 N이 1 작아질 때마다 허용되는 입자 수가 대략 10분의 1이 된다

ISO 14644-1에서는 ISO 클래스 N일 때 1 m³당 0.1 µm 이상 입자의 상한이 10의 N제곱 개로 정해져 있습니다(다른 입경의 상한도 식으로 정해집니다). 예를 들어 클래스 5는 10만 개, 클래스 4는 1만 개이며, 숫자가 작을수록 청정도가 높아집니다. 무게가 아니라 개수 농도로 정해집니다. 첨단 공장에서는 웨이퍼가 접하는 공간에서 클래스 1~3 정도가 요구됩니다.

해설 속 ISO 14644-1

ISO 14644-1이(가) 나오는 문제 (3)

  1. 구 미국 연방 규격의 클래스 100(1세제곱피트당 0.5 µm 이상의 입자가 100개 이하)에 해당하는 ISO 14644-1의 청정도 클래스는 무엇인가?
  2. ISO 14644-1의 청정도 클래스에 대한 올바른 설명은 무엇인가?
  3. 클린룸의 청정도는 일반적으로 무엇으로 나타내는가?

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