클린룸과 장비

200 mm 웨이퍼 시대에 보급된, 카세트를 밀폐된 포드에 넣어 장비에 전달하는 미니인바이런먼트 방식은 무엇인가?

  1. AFOUP
  2. BSMIF
  3. CEFEM
정답과 해설 보기

정답: B. SMIF

SMIF(Standard Mechanical Interface)는 웨이퍼 카세트를 밀폐된 포드에 넣어 운반하고, 장비 위에서 포드의 바닥을 아래로 열어 카세트를 장비 안으로 들이는 방식입니다. 1980년대에 고안되어 미니인바이런먼트의 개념을 널리 알렸습니다. 300 mm에서는 카세트와 포드를 일체화하여 전면에서 여는 FOUP으로 발전했습니다. EFEM은 FOUP을 전달하는 장비 전면 모듈입니다.

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