ミニエンバイロメント란?

みにえんばいろめんと

ウエハの周りの狭い空間だけを高い清浄度に保つ考え方。FOUPなどの密閉容器と装置前面のEFEMを組み合わせ、部屋全体の清浄度の要求を下げてコストを抑える。

일본어 명칭: ミニエンバイロメント

분야: 클린룸과 장비