Microscope qui observe un échantillon aminci traversé par un faisceau d'électrons. Avec une résolution atomique, il permet d'étudier les structures en coupe et les défauts cristallins.
Nom japonais: TEM(透過電子顕微鏡)
« TEM (microscope électronique en transmission) » apparaît dans 7 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Métrologie et analyse.
Domaine: Métrologie et analyse
Réponse : B. Amincir l’échantillon à environ 100 nm ou moins pour que le faisceau d’électrons puisse le traverser
Le TEM forme l’image avec les électrons transmis à travers l’échantillon ; celui-ci doit donc être aminci à environ 100 nm ou moins pour que le faisceau le traverse. Pour les dispositifs semi-conducteurs, on utilise souvent la méthode de lift-out : le FIB creuse autour de la zone à observer, puis une lame est extraite et amincie. Un TEM à correction d’aberrations atteint une résolution inférieure à 0.1 nm et montre l’arrangement des atomes. Un échantillon épais ou dissous dans un liquide ne laisse pas passer les électrons.
Réponse : B. La nature et la quantité des éléments contenus dans l’échantillon
Lorsqu’un faisceau d’électrons frappe l’échantillon, des électrons des couches internes sont éjectés ; quand des électrons externes comblent ces lacunes, ils émettent des rayons X caractéristiques d’énergie propre à chaque élément. L’EDX analyse cette énergie pour déterminer la nature et la quantité des éléments. La composition de la zone observée au microscope électronique est obtenue sur place, d’où son large usage pour analyser particules et zones défectueuses. La limite de détection est d’environ 0.1 wt% ; pour les impuretés à l’état de traces, on utilise notamment la SIMS.
Le TEM forme l’image avec les électrons transmis à travers l’échantillon ; celui-ci doit donc être aminci à environ 100 nm ou moins pour que le faisceau le traverse.
Quelle préparation est nécessaire pour observer un échantil…La SIMS et le TEM sont des analyses destructives.
Comment s’appelle la mesure qui éclaire un motif périodique…Il sert à préparer les lames pour le TEM, à observer en coupe les zones défectueuses et à modifier les circuits de puces prototypes en coupant et reconnectant des interconnexions.
Quelle est l’utilisation principale d’un équipement à faisc…On utilise donc le SEM ou le TEM, qui emploient des électrons de longueur d’onde bien plus courte.
Pour quelle raison principale un microscope optique ne perm…L’observation en coupe au SEM ou au TEM implique de cliver la plaquette ou de l’usiner au FIB ; la partie observée devient inutilisable comme produit (contrôle destructif).
Quelle est la caractéristique de la méthode qui consiste à …FIB (faisceau d'ions focalisé) SIMS (spectrométrie de masse des ions secondaires) EDX (spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie) Mobilité Spectre Précurseur Ouverture numérique (NA) AFM (microscope à force atomique) CD-SEM DRX (XRD, diffraction des rayons X)