Métrologie et analyse

Pour quelle raison principale un microscope optique ne permet-il pas d’observer directement des motifs de quelques dizaines de nm ?

  1. ALa résolution est limitée par la diffraction de la lumière (de l’ordre de la longueur d’onde)
  2. BLe microscope optique ne restitue pas les couleurs
  3. CLe microscope optique est trop sombre
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Réponse : A. La résolution est limitée par la diffraction de la lumière (de l’ordre de la longueur d’onde)

La résolution d’un microscope optique est limitée par la diffraction à environ 0.61λ/NA (λ : longueur d’onde, NA : ouverture numérique). La longueur d’onde visible étant d’environ 400 à 700 nm, la limite est d’environ 200 nm dans les meilleures conditions, et des motifs de quelques dizaines de nm ne peuvent être distingués. On utilise donc le SEM ou le TEM, qui emploient des électrons de longueur d’onde bien plus courte. Ce n’est pas une question de luminosité ou de couleur.

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