Métrologie et analyse

Quelle technique de TEM étudie la répartition des éléments et des états chimiques en balayant un faisceau d’électrons finement focalisé et en mesurant la perte d’énergie des électrons transmis ?

  1. AMéthode des quatre pointes
  2. BMesure d’effet Hall
  3. CSTEM-EELS (spectroscopie de perte d’énergie des électrons)
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Réponse : C. STEM-EELS (spectroscopie de perte d’énergie des électrons)

En STEM (microscopie électronique en transmission à balayage), un faisceau fin d’électrons balaie l’échantillon. Combinée à l’EELS, qui mesure l’énergie perdue par les électrons transmis, elle permet d’étudier la répartition des éléments et des états de liaison chimique avec une résolution spatiale proche de l’échelle atomique. Efficace pour détecter les éléments légers, elle sert à évaluer les isolants de grille ultraminces et les interfaces. La mesure d’effet Hall détermine le type et la mobilité des porteurs.

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