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Métrologie et analyse

Quelle est la caractéristique de la méthode qui consiste à cliver ou abraser la plaquette avant observation pour étudier en détail le profil en coupe ?

  1. AElle ne révèle que la contamination de surface
  2. BÉtant destructive, la plaquette ou la puce observée ne peut plus servir de produit
  3. CLe produit peut être expédié tel quel
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Réponse : B. Étant destructive, la plaquette ou la puce observée ne peut plus servir de produit

L’observation en coupe au SEM ou au TEM implique de cliver la plaquette ou de l’usiner au FIB ; la partie observée devient inutilisable comme produit (contrôle destructif). On prélève donc des plaquettes de production ou on utilise des plaquettes dédiées à l’évaluation. En contrepartie, on vérifie directement des structures internes inaccessibles à la métrologie non destructive par le dessus : empilement des films, défauts de remplissage, forme des flancs, etc.

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