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Métrologie et analyse

Comment s’appelle la mesure qui éclaire un motif périodique et compare le spectre de la lumière réfléchie et diffractée à un modèle pour déterminer la largeur de ligne et le profil en coupe ?

  1. ASIMS
  2. BScattérométrie (mesure optique de CD, OCD)
  3. CObservation TEM
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Réponse : B. Scattérométrie (mesure optique de CD, OCD)

La scattérométrie mesure le spectre de la lumière réfléchie et diffractée par un motif périodique de test, modélise la forme et compare avec les spectres obtenus par calcul électromagnétique pour déterminer la largeur de ligne, la hauteur, l’angle des flancs, etc. Non destructive et rapide, elle fournit aussi des informations sur le profil en coupe et est largement utilisée pour le contrôle dimensionnel en production. Cependant, sans modèle correct, le résultat est erroné. La SIMS et le TEM sont des analyses destructives.

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