Qu'est-ce que DRX (XRD, diffraction des rayons X) ?

Méthode d'analyse qui détermine la structure cristalline, le paramètre de maille, les contraintes du film et la qualité cristalline à partir de l'angle et de l'intensité des rayons X diffractés par un cristal.

Nom japonais: XRD(X線回折)

Domaine: Métrologie et analyse