Métrologie et analyse
Quelle préparation est nécessaire pour observer un échantillon au microscope électronique en transmission (TEM) ?
- AEmpiler l’échantillon sur quelques cm d’épaisseur
- BAmincir l’échantillon à environ 100 nm ou moins pour que le faisceau d’électrons puisse le traverser
- CDissoudre l’échantillon dans un liquide
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Réponse : B. Amincir l’échantillon à environ 100 nm ou moins pour que le faisceau d’électrons puisse le traverser
Le TEM forme l’image avec les électrons transmis à travers l’échantillon ; celui-ci doit donc être aminci à environ 100 nm ou moins pour que le faisceau le traverse. Pour les dispositifs semi-conducteurs, on utilise souvent la méthode de lift-out : le FIB creuse autour de la zone à observer, puis une lame est extraite et amincie. Un TEM à correction d’aberrations atteint une résolution inférieure à 0.1 nm et montre l’arrangement des atomes. Un échantillon épais ou dissous dans un liquide ne laisse pas passer les électrons.