Équipement qui grave ou dépose des films avec un faisceau d'ions très fin. Utilisé pour les coupes de zones microscopiques, la préparation de lames minces pour TEM et la modification de circuits.
Nom japonais: FIB(集束イオンビーム)
« FIB (faisceau d'ions focalisé) » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Métrologie et analyse.
Domaine: Métrologie et analyse
Réponse : A. L’usinage de zones microscopiques, la préparation de coupes et la modification de circuits
Le FIB irradie l’échantillon avec un faisceau finement focalisé d’ions, par exemple de gallium ; il peut usiner une position visée à l’échelle nanométrique ou, combiné à un gaz précurseur, déposer des films de platine ou de tungstène. Il sert à préparer les lames pour le TEM, à observer en coupe les zones défectueuses et à modifier les circuits de puces prototypes en coupant et reconnectant des interconnexions. Un équipement couplé à un SEM permet d’observer pendant l’usinage. Il ne mesure pas l’épaisseur sur toute la plaquette et ne sert pas au nettoyage.
Le FIB irradie l’échantillon avec un faisceau finement focalisé d’ions, par exemple de gallium ; il peut usiner une position visée à l’échelle nanométrique ou, combiné à un gaz précurseur, déposer des films de platine ou de tungstène.
Quelle est l’utilisation principale d’un équipement à faisc…Pour les dispositifs semi-conducteurs, on utilise souvent la méthode de lift-out : le FIB creuse autour de la zone à observer, puis une lame est extraite et amincie.
Quelle préparation est nécessaire pour observer un échantil…L’observation en coupe au SEM ou au TEM implique de cliver la plaquette ou de l’usiner au FIB ; la partie observée devient inutilisable comme produit (contrôle destructif).
Quelle est la caractéristique de la méthode qui consiste à …En sonde atomique, un échantillon dont l’extrémité a été usinée au FIB en aiguille d’environ 100 nm reçoit une haute tension et des impulsions qui arrachent un par un, sous forme d’ions, les atomes de la pointe.
Quelle méthode d’analyse évapore par champ électrique, un p…TEM (microscope électronique en transmission) Précurseur AFM (microscope à force atomique) CD-SEM DRX (XRD, diffraction des rayons X) EDX (spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie) Ellipsométrie Équipement d'inspection des défauts MEB (SEM, microscope électronique à balayage) Méthode des quatre pointes