Que permet de connaître l’EDX (spectroscopie de rayons X à dispersion d’énergie), utilisée en combinaison avec un SEM ou un TEM ?

Réponse : B. La nature et la quantité des éléments contenus dans l’échantillon

Lorsqu’un faisceau d’électrons frappe l’échantillon, des électrons des couches internes sont éjectés ; quand des électrons externes comblent ces lacunes, ils émettent des rayons X caractéristiques d’énergie propre à chaque élément. L’EDX analyse cette énergie pour déterminer la nature et la quantité des éléments. La composition de la zone observée au microscope électronique est obtenue sur place, d’où son large usage pour analyser particules et zones défectueuses. La limite de détection est d’environ 0.1 wt% ; pour les impuretés à l’état de traces, on utilise notamment la SIMS.