Mikroskop, das gedünnte Proben beobachtet, indem ein Elektronenstrahl sie durchdringt. Mit atomarer Auflösung zeigt es Querschnittsstrukturen und Kristalldefekte.
Japanische Bezeichnung: TEM(透過電子顕微鏡)
Fachgebiet: Messtechnik und Analyse
AFM (Rasterkraftmikroskop) CD-SEM Defektinspektionssystem EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie) Ellipsometrie (ellipsometry) FIB (fokussierter Ionenstrahl) REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse) Vierspitzenmethode (four-point probe method)