Microscoop waarbij een elektronenbundel door een uitgedund monster wordt gestuurd. Met een resolutie op atomair niveau kunnen dwarsdoorsneden en kristaldefecten worden onderzocht.
Japanse benaming: TEM(透過電子顕微鏡)
“TEM (transmissie-elektronenmicroscoop)” komt voor in 7 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Metrologie en analyse.
Vakgebied: Metrologie en analyse
Antwoord: B. Het monster zo dun bewerken, tot ongeveer 100 nm of minder, dat de elektronenbundel erdoorheen kan
Een TEM vormt een beeld met elektronen die door het monster zijn getransmitteerd, dus het monster moet tot ongeveer 100 nm of minder worden verdund zodat de elektronenbundel erdoorheen kan. Bij halfgeleidercomponenten wordt vaak de lift-out-methode gebruikt, waarbij met FIB rond het te bekijken gebied wordt weggefreesd en een dunne plak wordt vrijgemaakt en afgewerkt. Bij een TEM met aberratiecorrectie wordt een oplossend vermogen van 0,1 nm of beter bereikt, waarmee zelfs de atoomrangschikking zichtbaar is. Als het monster dik wordt opgebouwd of wordt opgelost, kunnen elektronen er niet doorheen.
Antwoord: B. Soort en hoeveelheid van de in het monster aanwezige elementen
Wanneer een elektronenbundel op het monster valt, worden elektronen uit binnenste schillen geslagen en wanneer daar een elektron uit een buitenste schil in valt, komt karakteristieke röntgenstraling vrij met een voor elk element eigen energie. EDX analyseert die energie en bepaalt zo soort en hoeveelheid van de elementen. Omdat de samenstelling ter plaatse bekend wordt van de plek die met de elektronenmicroscoop wordt bekeken, wordt het veel gebruikt voor de analyse van deeltjes en defecte plekken. De detectiegrens is ongeveer 0,1 gew.%; voor de analyse van sporen van onzuiverheden worden onder meer SIMS gebruikt.
Een TEM vormt een beeld met elektronen die door het monster zijn getransmitteerd, dus het monster moet tot ongeveer 100 nm of minder worden verdund zodat de elektronenbundel erdoorheen kan.
Welke voorbehandeling is nodig om een monster met een trans…SIMS en TEM zijn destructieve analysemethoden.
Hoe heet de metrologie waarbij licht op een periodiek patro…Het wordt gebruikt voor het maken van dunne plakken voor TEM, het bekijken van doorsneden van defecte plekken en schakelingsreparatie waarbij bedrading van prototypechips wordt doorgesneden en opnieuw verbonden.
Wat is het belangrijkste gebruik van een apparaat met gefoc…Daarom worden SEM en TEM gebruikt, die elektronenbundels met een veel kortere golflengte benutten.
Wat is de belangrijkste reden dat fijne patronen van enkele…Bij SEM- of TEM-waarneming van doorsneden wordt de wafer gebroken of met FIB bewerkt, zodat het bekeken deel niet meer als product bruikbaar is (destructieve inspectie).
Welke uitspraak over de methode waarbij de wafer wordt gebr…SEM (scanning-elektronenmicroscoop) FIB (focused ion beam) SIMS (secundaire-ionenmassaspectrometrie) EDX (energiedispersieve röntgenspectroscopie) Mobiliteit Via Numerieke apertuur (NA) AFM (atomic force microscope) CD-SEM Defectinspectieapparaat