Français
Menu

Qu'est-ce que CD-SEM ?

Microscope électronique à balayage destiné à mesurer la largeur des motifs (CD). Utilisé pour le contrôle dimensionnel après lithographie ou gravure.

Nom japonais: CD-SEM

« CD-SEM » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 2 thèmes, dont Métrologie et analyse, Lithographie.

Domaine: Métrologie et analyse

S'entraîner : questions sur CD-SEM

Comment s’appelle le phénomène par lequel un motif de résine ArF rétrécit sous l’irradiation électronique lors de sa mesure au CD-SEM ?

  1. AShrink (retrait de la résine sous faisceau d’électrons)
  2. BCharge (charge-up)
  3. CDérive
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : A. Shrink (retrait de la résine sous faisceau d’électrons)

La résine ArF est sensible aux électrons : l’irradiation nécessaire à la mesure décompose ses molécules, son volume diminue et le motif rétrécit. La valeur changeant à chaque mesure, on réduit la dose ou on corrige à partir d’un retrait déterminé au préalable. La charge est l’accumulation de charges dans un isolant qui déforme l’image, et la dérive le décalage progressif de l’image ou des valeurs de l’équipement au cours du temps ; ni l’une ni l’autre n’est un rétrécissement.

Comment s’appelle l’approche qui combine les données de plusieurs méthodes de mesure différentes (optique, CD-SEM, AFM, etc.) pour déterminer les dimensions et la forme plus précisément qu’avec une seule méthode ?

  1. AMesure aveugle
  2. BMétrologie hybride
  3. CSingle shot
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : B. Métrologie hybride

Pour les structures fines avancées, une seule méthode de mesure est limitée quant aux grandeurs mesurables et à la précision. La métrologie hybride compense les faiblesses de chaque méthode pour obtenir des résultats plus précis, par exemple en injectant comme valeur fixe dans le modèle d’analyse de la mesure optique de dimensions (OCD) une épaisseur déterminée précisément par XRR, afin d’obtenir de façon stable les autres paramètres de forme. Il importe d’identifier les grandeurs où chaque méthode excelle pour les combiner.

« CD-SEM » dans les explications

Questions mentionnant « CD-SEM » (4)

  1. Comment s’appelle le phénomène par lequel un motif de résine ArF rétrécit sous l’irradiation électronique lors de sa mesure au CD-SEM ?
  2. Comment s’appelle l’approche qui combine les données de plusieurs méthodes de mesure différentes (optique, CD-SEM, AFM, etc.) pour déterminer les dimensions et la forme plus précisément qu’avec une seule méthode ?
  3. Que signifie la « CDU » contrôlée en lithographie ?
  4. Quel est le principe du microscope électronique à balayage (SEM) ?

Termes associés

Dose MOL (middle-of-line) AFM (microscope à force atomique) DRX (XRD, diffraction des rayons X) EDX (spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie) Ellipsométrie Équipement d'inspection des défauts FIB (faisceau d'ions focalisé) MEB (SEM, microscope électronique à balayage) Méthode des quatre pointes

Retour au glossaire