Was ist Linienkantenrauheit (LER)?

Rauheit im Nanometerbereich entlang der Kanten feiner Resistlinien. Sie verursacht Linienbreitenschwankung (LWR) und führt zu Streuung der Transistoreigenschaften.

Japanische Bezeichnung: ラインエッジラフネス(LER)

Fachgebiet: Lithografie

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