Oxydation thermique sous atmosphère contenant de la vapeur d'eau. Plus rapide que l'oxydation sèche ; utilisée pour former des oxydes épais.
Nom japonais: ウェット酸化
« Oxydation humide » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Oxydation et diffusion.
Domaine: Oxydation et diffusion
Réponse : B. L’oxydation humide a une vitesse de croissance d’oxyde plus élevée
Dans l’oxydation humide à la vapeur d’eau, la solubilité de l’oxydant H2O dans SiO2 est plusieurs centaines de fois supérieure à celle de O2, si bien que la croissance est de plusieurs fois à environ 10 fois plus rapide qu’en oxydation sèche. Par exemple, à 1000 ℃ pendant 1 heure, on obtient environ 70 nm en sec et environ 400 nm en humide. Elle convient à l’isolation des composants et aux masques, qui exigent des films épais. L’oxydation sèche, plus lente, donne un film dense de bonne qualité avec peu d’états d’interface et une épaisseur facile à contrôler ; elle a été utilisée pour les oxydes de grille minces.
Dans l’oxydation humide à la vapeur d’eau, la solubilité de l’oxydant H2O dans SiO2 est plusieurs centaines de fois supérieure à celle de O2, si bien que la croissance est de plusieurs fois à environ 10 fois plus rapide qu’en oxydation sèche.
Pour l’oxydation thermique du silicium, quelle comparaison …Les oxydes épais prenant plus de temps, on accélère la croissance par haute température, oxydation humide ou haute pression.
Lorsque l’oxyde est devenu suffisamment épais en oxydation …Par exemple, l’épaisseur obtenue en 1 heure d’oxydation humide est d’environ 200 nm à 900 ℃ et d’environ 700 nm à 1100 ℃.
Si l’on élève la température d’oxydation thermique, comment…L’oxydation humide utilise la vapeur d’eau selon la réaction Si + 2H2O → SiO2 + 2H2 ; une partie de l’hydrogène produit reste dans le film, d’où une densité un peu plus faible des films humides.
Quelle réaction chimique se produit lors de l’oxydation the…Oxydation thermique Oxydation sèche Rugosité de bord de ligne (LER) Modèle de Deal-Grove Bec d'oiseau (bird's beak) Diffusion accélérée par oxydation (OED) Diffusion thermique États d'interface Ions mobiles LOCOS