Si l’on élève la température d’oxydation thermique, comment évolue l’épaisseur d’oxyde obtenue en un temps donné ?

Réponse : A. Elle augmente

La vitesse d’oxydation thermique, qu’il s’agisse de la réaction à l’interface ou de la diffusion de l’oxydant dans l’oxyde, augmente exponentiellement avec la température. Par exemple, l’épaisseur obtenue en 1 heure d’oxydation humide est d’environ 200 nm à 900 ℃ et d’environ 700 nm à 1100 ℃. On utilise l’oxydation humide à haute température pour former rapidement des films épais, tandis que les oxydes de grille minces sont réalisés lentement, à basse température ou en oxydation sèche, pour contrôler précisément l’épaisseur.