Comment appelle-t-on les wafers passés dans le procédé indépendamment des produits pour vérifier l'état des équipements, mesurer les épaisseurs de couches, etc. ?

Réponse : C. Wafer moniteur (wafer de test)

Le wafer moniteur est passé indépendamment des produits pour vérifier l'épaisseur des couches déposées, le nombre de particules, la vitesse de gravure, la contamination, etc., et contrôler l'état des équipements lors de leur démarrage ou des inspections périodiques. Il permet de vérifier des paramètres non mesurables directement sur les wafers produits, mais son usage massif est coûteux ; après utilisation, sa surface est donc repolie pour le réutiliser comme wafer régénéré. Des efforts visent aussi à intégrer des fonctions de mesure dans les équipements pour réduire le nombre de wafers moniteurs.