Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

Quel est l'indicateur typique utilisé pour contrôler la pureté de l'eau ultrapure en fabrication de semi-conducteurs ?

  1. AL'intensité de la couleur
  2. BLa résistivité
  3. CLa viscosité
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Réponse : B. La résistivité

Moins l'eau contient d'ions dissous, moins elle conduit l'électricité : la pureté de l'eau ultrapure se contrôle donc par sa résistivité. La limite théorique, fixée par la seule autoprotolyse de l'eau, vaut environ 18,2 MΩ·cm à 25 ℃, et l'eau ultrapure pour semi-conducteurs est maintenue près de cette valeur. La résistivité ne réagissant pas aux contaminants non ioniques, on surveille aussi séparément le COT (carbone organique total), les particules, l'oxygène dissous, la silice, etc. au niveau du ppb. La couleur ou la viscosité ne révèlent pas les différences de pureté.

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