在TEM中，一邊掃描聚焦成細束的電子束，一邊量測穿透電子的能量損失，以調查元素與化學狀態分布的手法是下列何者？

正確答案：C. STEM-EELS（電子能量損失能譜術）

STEM（掃描穿透式電子顯微鏡）是讓細電子束在試片上掃描。若結合量測穿透電子損失多少能量的EELS，就能以接近原子等級的空間解析度，調查元素的種類與化學鍵結狀態的分布。擅長偵測輕元素，用於極薄閘極絕緣膜與界面的評估等。霍爾量測是調查載子種類與遷移率的方法。

• A. 四探針法是量測電阻率的方法。
• B. 霍爾量測是調查載子的種類、濃度與遷移率的方法。
• C. 正確。由穿透電子的能量損失調查元素與狀態。