以非接觸方式量測晶圓的載子生命週期，藉此評估金屬污染等的方法是下列何者？

正確答案：A. 微波光導衰減法（μ-PCD）

μ-PCD是對晶圓照射光脈衝以產生載子，並由微波反射率的變化量測其再結合而減少的情形。鐵等金屬污染會成為再結合中心而縮短生命週期，因此用於熱處理爐污染的監控與晶圓品質的評估。由於不需電極即可量測，也能繪製晶圓整面的分布圖。SIMS與XRD無法量測生命週期。