使廢氣中的酸性氣體等與水或藥液接觸，以吸收、去除的裝置為下列何者？

正確答案：C. 濕式洗滌塔

濕式洗滌塔是在填充了填料的塔中，使廢氣與水或中和用藥液的噴淋接觸，吸收並去除氟化氫、氯化氫等易溶於水的酸性氣體，以及氨等鹼性氣體的裝置。可用於全廠的排氣處理，或設備各自的廢氣處理設備的後段等。但難溶於水的PFC等無法去除。ULPA濾網是去除微粒的設施，OHT則是搬運設備。