矽晶圓
直徑300 mm、厚度775 µm的矽晶圓，每片的質量最接近下列哪一項？(矽的密度約為2.33 g/cm³)
- A約13 g
- B約1,280 g
- C約128 g
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正確答案：C. 約128 g
體積為 π × (15 cm)² × 0.0775 cm ≈ 54.8 cm³，乘以密度2.33 g/cm³ 後約為128 g。200 mm晶圓(厚度725 µm)則約53 g。裝入25片300 mm晶圓的容器(FOUP)總重約8 kg，所以工廠中以天花板搬運系統(OHT)自動搬運。重量與易碎性，是大口徑化後不再以人工搬運的原因之一。
- A. 約13 g小了一個數量級。
- B. 約1,280 g大了一個數量級。
- C. 正確。約54.8 cm³ × 2.33 g/cm³ ≈ 128 g。