什麼是全氟碳化物(PFC)
也稱為PFC。CF4、C2F6等用於蝕刻與腔體清潔的氟化合物氣體。溫室效應非常大。
日文名稱: パーフルオロカーボン
「全氟碳化物(PFC)」出現在2領域的9道練習題中(環境安全, 功率半導體等)。
這個名詞所屬的領域: 環境安全
也稱為PFC。CF4、C2F6等用於蝕刻與腔體清潔的氟化合物氣體。溫室效應非常大。
日文名稱: パーフルオロカーボン
「全氟碳化物(PFC)」出現在2領域的9道練習題中(環境安全, 功率半導體等)。
這個名詞所屬的領域: 環境安全
正確答案:C. 將輸入電流的波形整形為接近電壓的正弦波,使功率因數趨近於1
在以電容平滑的簡單整流電路中,輸入電流僅在峰值附近以脈衝狀流通,功率因數降至0.5~0.7左右,諧波會對電力系統造成不良影響。PFC電路以升壓截波器等將輸入電流控制為與電壓同形的正弦波,使功率因數提高到0.95以上。在日本與歐洲,對一定功率以上的設備有諧波規範,因此PFC被內建於電腦電源與LED照明等產品中。
PFC電路以升壓截波器等將輸入電流控制為與電壓同形的正弦波,使功率因數提高到0.95以上。
關於電源電路所使用的功率因數校正(PFC)電路之目的,下列何者正確?CF4或C2F6等PFC類的全球暖化潛勢為CO2的數千倍以上,其中CF4在大氣中的壽命約為5萬年,是壽命極長的溫室氣體。
蝕刻或設備清潔所使用的PFC(全氟碳化物)類排放被視為環境問題,其主要理由為下列何者?過去是將C2F6等PFC在腔體內電漿化來進行清潔,但問題在於未被分解就排出的量很多。
在CVD設備的腔體清潔中,從減少PFC排放的角度而被採用的方法,下列何者正確?CF4等PFC在化學上非常穩定,也幾乎不溶於水,因此以濕式洗滌塔或一般的吸附幾乎無法去除。
為了從設備的廢氣中去除CF4等非常穩定而難以分解的PFC,所採用的廢氣處理方式,下列何者適當?這使得600 V等級Si MOSFET的導通電阻可降至傳統矽極限的數分之一,廣泛用於電源與PFC電路。
關於超接面(SJ)MOSFET的特徵,下列何者正確?廢氣處理設備 電漿 NF3(三氟化氮) CVD(化學氣相沉積) 自由基 空乏層 導通電阻 SiC(碳化矽) ULPA濾網 OHT(天車式無人搬運車)