什麼是全氟碳化物(PFC)

也稱為PFC。CF4、C2F6等用於蝕刻與腔體清潔的氟化合物氣體。溫室效應非常大。

日文名稱: パーフルオロカーボン

「全氟碳化物(PFC)」出現在2領域的9道練習題中(環境安全, 功率半導體等)。

這個名詞所屬的領域: 環境安全

練習全氟碳化物(PFC)的題目

關於電源電路所使用的功率因數校正(PFC)電路之目的,下列何者正確?

  1. A使輸出電壓變為2倍
  2. B增加電源的雜訊
  3. C將輸入電流的波形整形為接近電壓的正弦波,使功率因數趨近於1
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正確答案:C. 將輸入電流的波形整形為接近電壓的正弦波,使功率因數趨近於1

在以電容平滑的簡單整流電路中,輸入電流僅在峰值附近以脈衝狀流通,功率因數降至0.5~0.7左右,諧波會對電力系統造成不良影響。PFC電路以升壓截波器等將輸入電流控制為與電壓同形的正弦波,使功率因數提高到0.95以上。在日本與歐洲,對一定功率以上的設備有諧波規範,因此PFC被內建於電腦電源與LED照明等產品中。

蝕刻或設備清潔所使用的PFC(全氟碳化物)類排放被視為環境問題,其主要理由為下列何者?

  1. A因為是造成水質汙染的主要物質
  2. B因為是造成酸雨的主要物質
  3. C因為是全球暖化潛勢大、在大氣中壽命長的溫室氣體
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正確答案:C. 因為是全球暖化潛勢大、在大氣中壽命長的溫室氣體

CF4或C2F6等PFC類的全球暖化潛勢為CO2的數千倍以上,其中CF4在大氣中的壽命約為5萬年,是壽命極長的溫室氣體。一旦排放,以人類的時間尺度而言不會消失,因此半導體業界透過廢氣處理設備分解、改用全球暖化潛勢較小的替代氣體、使用量最佳化等方式努力減少排放。它們並不是水質汙染或酸雨的主要成因物質。

解析中的「全氟碳化物(PFC)」

出現「全氟碳化物(PFC)」的題目(9題)

  1. 關於電源電路所使用的功率因數校正(PFC)電路之目的,下列何者正確?
  2. 蝕刻或設備清潔所使用的PFC(全氟碳化物)類排放被視為環境問題,其主要理由為下列何者?
  3. 在CVD設備的腔體清潔中,從減少PFC排放的角度而被採用的方法,下列何者正確?
  4. 為了從設備的廢氣中去除CF4等非常穩定而難以分解的PFC,所採用的廢氣處理方式,下列何者適當?
  5. 關於超接面(SJ)MOSFET的特徵,下列何者正確?
  6. SiC蕭特基能障二極體被用作逆變器等的續流二極體,其主要優點為下列何者?
  7. 輸出比輸入更高之直流電壓的DC-DC轉換器為下列何者?
  8. 使廢氣中的酸性氣體等與水或藥液接觸,以吸收、去除的裝置為下列何者?
  9. 在企業的溫室氣體排放量盤查中,自家工廠燃料燃燒或製程氣體排放等直接排放,被歸類於下列哪個類別?

相關名詞

廢氣處理設備 電漿 NF3(三氟化氮) CVD(化學氣相沉積) 自由基 空乏層 導通電阻 SiC(碳化矽) ULPA濾網 OHT(天車式無人搬運車)

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