什麼是廢氣處理設備
以燃燒、吸附、水洗等方式，去除製造設備排出廢氣中有害物質的設備。
日文名稱: 除害装置
「廢氣處理設備」出現在1領域的3道練習題中（環境安全等）。
這個名詞所屬的領域: 環境安全
練習廢氣處理設備的題目
蝕刻或設備清潔所使用的PFC（全氟碳化物）類排放被視為環境問題，其主要理由為下列何者？
- A因為是造成水質汙染的主要物質
- B因為是造成酸雨的主要物質
- C因為是全球暖化潛勢大、在大氣中壽命長的溫室氣體
使廢氣中的酸性氣體等與水或藥液接觸，以吸收、去除的裝置為下列何者？
- AULPA濾網
- BOHT
- C濕式洗滌塔
解析中的「廢氣處理設備」
一旦排放，以人類的時間尺度而言不會消失，因此半導體業界透過廢氣處理設備分解、改用全球暖化潛勢較小的替代氣體、使用量最佳化等方式努力減少排放。
蝕刻或設備清潔所使用的PFC（全氟碳化物）類排放被視為環境問題，其主要理由為下列何者？可用於全廠的排氣處理，或設備各自的廢氣處理設備的後段等。
使廢氣中的酸性氣體等與水或藥液接觸，以吸收、去除的裝置為下列何者？在半導體廠中，除了燃料燃燒之外，PFC或NF3等製程氣體的排放也屬於範疇1，廢氣處理設備的分解效率會左右其排放量。
在企業的溫室氣體排放量盤查中，自家工廠燃料燃燒或製程氣體排放等直接排放，被歸類於下列哪個類別？
出現「廢氣處理設備」的題目（3題）
相關名詞
全氟碳化物(PFC) ULPA濾網 OHT(天車式無人搬運車) NF3(三氟化氮) 上鎖掛籤(LOTO) 局部排氣裝置 風險評估 缺氧 爆炸下限(LEL) GHS(全球化學品調和制度)