什麼是黏附(Stiction)
MEMS微小的可動部因表面張力或表面吸附力而黏在基板上、無法動作的現象。容易在去除犧牲層之後的乾燥等過程中發生。
日文名稱: スティクション
這個名詞所屬的領域: MEMS與感測器
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加速度感測器 陀螺儀 科氏力 博世製程(Deep RIE) 陽極接合 電容式感測 霍爾元件 壓阻效應 犧牲層蝕刻 MEMS(微機電系統)
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