關於非等向性蝕刻的說明，下列何者正確？

正確答案：A. 蝕刻主要沿垂直方向進行，幾乎不向橫向進行

在非等向性蝕刻中，藉由電場使離子垂直加速所產生的轟擊，以及保護側壁的保護膜之作用，垂直方向的蝕刻會優先進行，向遮罩下方鑽入的橫向蝕刻幾乎不會發生。因此可以不改變尺寸、準確地轉印遮罩圖案，並加工出寬度數十nm、深度數µm這類細微且垂直的形狀。在所有方向以相同速度進行的是等向性蝕刻。