ジャイロスコープ란?

じゃいろすこーぷ

回転の速さ(角速度)を検出するセンサー。MEMSのものは振動する構造に働くコリオリ力を利用する。

일본어 명칭: ジャイロスコープ

분야: MEMS와 센서

관련 용어

加速度センサー陽極接合犠牲層エッチング静電容量検出 MEMS コリオリ力スティクションピエゾ抵抗効果ホール素子ボッシュプロセス(Deep RIE)

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