じゃいろすこーぷ
回転の速さ(角速度)を検出するセンサー。MEMSのものは振動する構造に働くコリオリ力を利用する。
この用語の分野: MEMS・センサ
加速度センサー 犠牲層エッチング コリオリ力 スティクション 静電容量検出 ピエゾ抵抗効果 ホール素子 ボッシュプロセス(Deep RIE) MEMS 陽極接合
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