什麼是Deal-Grove模型

將矽的熱氧化描述為氧化劑在氧化膜中擴散，並於Si/SiO2界面與矽反應之過程的模型。膜薄時膜厚與時間成正比，變厚後則與時間的平方根成正比。

日文名稱: Deal-Groveモデル