氧化與擴散
在 Deal-Grove 模型中，熱氧化初期（氧化層仍薄時）的氧化層厚度與時間的關係，下列何者正確？
- A厚度與時間的平方根成正比
- B厚度大致與時間成正比（呈線性增加）
- C厚度與時間無關，維持固定
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正確答案：B. 厚度大致與時間成正比（呈線性增加）
氧化層薄的時候，氧化劑很容易穿過膜，由介面的反應速度主導，因此厚度大致與時間成正比增加（線性定律，速率常數 B/A）。膜變厚後，由氧化劑在膜中的擴散主導，厚度便與時間的平方根成正比（拋物線定律，速率常數 B）。轉換的大致標準是厚度約 A/2，乾式氧化時約為數十 nm～100 nm 左右。
- A. 與時間的平方根成正比是膜變厚之後的情形。
- B. 正確。初期由反應主導，呈線性增加。
- C. 只要氧化持續進行，厚度就會增加。