氧化與擴散
熱氧化時，當氧化層變得夠厚後，氧化層厚度與氧化時間的關係，下列何者正確？
- A厚度大致與時間的平方根成正比（拋物線定律）
- B厚度與時間的平方成正比
- C厚度與時間無關，維持固定
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正確答案：A. 厚度大致與時間的平方根成正比（拋物線定律）
在 Deal-Grove 模型中，x² + Ax = B(t + τ)。薄膜階段由介面反應主導，厚度大致與時間成正比（線性定律，x ≈ (B/A)t）；膜變厚後則由氧化劑在膜中的擴散主導，厚度與時間的平方根成正比（拋物線定律，x ≈ √(Bt)）。例如要使厚度加倍，約需 4 倍的時間。氧化層越厚越耗時，因此會以高溫、濕式、高壓的條件來加快速度。