Deal-Groveモデル란?

でぃーるぐろーぶもでる

シリコンの熱酸化を、酸化剤が酸化膜中を拡散してSi/SiO2界面でシリコンと反応する過程として表したモデル。薄いときは膜厚が時間に比例し、厚くなると時間の平方根に比例する。

일본어 명칭: Deal-Groveモデル