什麼是濕式氧化

練習濕式氧化的題目

解析中的「濕式氧化」

• 使用水蒸氣的濕式氧化，其氧化劑 H2O 在 SiO2 中的溶解度比 O2 高數百倍，因此成長速率比乾式氧化快數倍至 10 倍左右。

  關於矽的熱氧化，下列對乾式氧化（O2）與濕式氧化（H2O）的比較，何者正確？

• 例如濕式氧化 1 小時所得的厚度，在 900 ℃ 約為 200 nm，在 1100 ℃ 約為 700 nm，差異很大。

  提高熱氧化的溫度後，相同時間內所得到的氧化層厚度會如何？

• 濕式氧化使用水蒸氣，發生 Si + 2H2O → SiO2 + 2H2 的反應，產生的氫有一部分殘留在膜中，因此濕式氧化層的密度略低。

  矽的乾式熱氧化中發生的化學反應，下列何者正確？

出現「濕式氧化」的題目（3題）

1. 關於矽的熱氧化，下列對乾式氧化（O2）與濕式氧化（H2O）的比較，何者正確？
2. 提高熱氧化的溫度後，相同時間內所得到的氧化層厚度會如何？
3. 矽的乾式熱氧化中發生的化學反應，下列何者正確？

相關名詞

熱氧化 乾式氧化 可動離子 合成氣體退火 界面能態 氧化增強擴散(OED) 鳥嘴效應 氮氧化矽膜(SiON) 熱擴散 驅入擴散