微影
微影中所管理的「CDU」，其意義下列何者正確？
- A曝光機的電源電壓
- B圖案尺寸（CD）在晶圓面內或曝光區內的變異
- C光阻顏色的均勻性
查看答案與解析
正確答案：B. 圖案尺寸（CD）在晶圓面內或曝光區內的變異
CD（Critical Dimension，關鍵尺寸）是線寬等重要的尺寸，CDU（CD Uniformity，關鍵尺寸均勻性）則表示其變異的大小（3σ）。在先進產品中，對於數十nm的線寬，必須將變異壓低到1 nm左右。由於CD的變異直接關係到電晶體特性的變異，因此會在曝光區內修正曝光量，或調整PEB的溫度分布來將它壓低。量測則使用CD-SEM或散射量測（scatterometry）。
- A. 不是電源電壓。
- B. 正確。是尺寸的變異。
- C. 不是顏色的均勻性。