以CD-SEM量測ArF光阻的圖案時，因電子束照射而使圖案縮小的現象稱為什麼？

正確答案：A. 收縮（電子束造成的光阻收縮）

ArF光阻不耐電子束，量測用的電子束照射會使分子分解而體積減小，造成圖案縮小。由於每量測一次數值就會改變，因此要減少照射量，或事先求出收縮量再進行補正。充電效應是電荷累積在絕緣物上而使影像扭曲的現象，漂移則是影像或設備的數值隨時間偏移的現象，兩者都不是圖案縮小的現象。