CD-SEM란?
しーでぃーせむ
パターンの線幅(CD)を測定するための走査電子顕微鏡。リソグラフィやエッチング後の寸法管理に使われる。
일본어 명칭: CD-SEM
분야: 계측과 분석
관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)
しーでぃーせむ
パターンの線幅(CD)を測定するための走査電子顕微鏡。リソグラフィやエッチング後の寸法管理に使われる。
일본어 명칭: CD-SEM
분야: 계측과 분석
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)