ARDE(アスペクト比依存エッチング)란?
えーあーるでぃーいー
パターンが細く深いほど、イオンやラジカルが底に届きにくくなり、エッチング速度が低下する現象。マイクロローディング効果とも呼ばれる。
일본어 명칭: ARDE(アスペクト比依存エッチング)
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果
えーあーるでぃーいー
パターンが細く深いほど、イオンやラジカルが底に届きにくくなり、エッチング速度が低下する現象。マイクロローディング効果とも呼ばれる。
일본어 명칭: ARDE(アスペクト比依存エッチング)
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果