什麼是ALE(原子層蝕刻)
交替重複表面改質與去除反應，每個循環僅蝕刻去除約一個原子層之量的技術。可極精密地控制蝕刻量。
日文名稱: ALE(原子層エッチング)
「ALE(原子層蝕刻)」出現在1領域的1道練習題中（蝕刻等）。
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
練習ALE(原子層蝕刻)的題目
關於原子層蝕刻（ALE）的特徵，下列何者正確？
- A單次處理即可高速蝕刻數µm
- B交替重複表面改質與去除，以原子層等級控制蝕刻量
- C是使用藥液的等向性濕式蝕刻
解析中的「ALE(原子層蝕刻)」
ALE重複進行自我限制性的步驟：先使表面僅一層藉由氯的吸附等方式反應而改質，再以低能量離子等僅將該層去除。
關於原子層蝕刻（ALE）的特徵，下列何者正確？