ALE(原子層エッチング)란?
えーえるいー
表面の改質と除去の反応を交互に繰り返し、1サイクルごとに原子層レベルの量だけ削る技術。エッチング量を極めて精密に制御できる。
일본어 명칭: ALE(原子層エッチング)
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果
えーえるいー
表面の改質と除去の反応を交互に繰り返し、1サイクルごとに原子層レベルの量だけ削る技術。エッチング量を極めて精密に制御できる。
일본어 명칭: ALE(原子層エッチング)
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果